Graniittialustan ja komponenttituotteiden käsittelytekniikka
Graniittitarkkuusalustojen ja komponenttituotteiden välikäsittely on yksinkertaista ja helppo saavuttaa korkealla tarkkuudella. Hiomalla ja kiillottamalla on helppo saavuttaa suurta tarkkuutta ja pinnan karheutta, toisin kuin metalliosat, jotka vaativat monimutkaisia hionta-, taonta- tai lämpökäsittelyprosesseja, ja keraamiset osat, jotka vaativat puristamisen, muovauksen, sintrauksen ja muita prosesseja.
Siksi käsittelylaitteet ovat yksinkertaisia, käsittelysykli on lyhyt, saanto on korkea ja käsittelykustannukset ovat alhaiset. 1200mm × Esimerkkinä 800mm graniittialustan käsittelytarkkuus saavutetaan vain puolessa kuukaudessa aihiosta valmiiseen tuotteeseen, ja tasaisuus voi olla 2,5 μm. Kestää vähintään yhdestä kahteen vuotta, ennen kuin muut samankokoiset materiaalit saavuttavat tällaisen tarkkuuden.
Graniittitarkkuustaso- ja komponenttituotteiden aihio leikataan ensin haluttuun kokoon timanttipyörösahanterällä. Käsittelytaso on yleensä hiottava ja kiillotettava hiomalaikalla useissa prosesseissa. Suurempi tarkkuus on saavutettava käsin hiomalla harmaavalurautahiomatyökalulla ja piikarbidihioma-aineella. Kun uraa tarvitaan, on valittava vastaava jyrsintäpää ja poraukseen tulee käyttää timanttiporaa.
Havaitsemismenetelmiä on kaksi:
1. Toinen on 0,5 μM elektronisen vaa'an tarkkuudella, joka pystyy havaitsemaan suoruuden siirtymämenetelmällä ja tasaisuuden valmistusmenetelmällä. Mitatut tulokset voidaan muuntaa algoritmilla suoruuden ja tasaisuuden spesifisten arvojen saamiseksi; Sille on ominaista alhainen tarkkuus, mutta luotettava mittaustieto eikä '0' pistepoikkeama. Se soveltuu erityisen hyvin on-line-mittaukseen ja -ilmaisuun.
2. Toinen suoruuden mittausmenetelmä voidaan ohittaa tarkkuudella 0,1 μ M:n kapasitanssimikrometri mitataan siirtymämenetelmällä ja sen mittarin indikaatioarvo on suoruuden virhearvo; Tässä mittauksessa itse induktanssimikrometrin pistepoikkeama '0' on vakava, ja sen arvoon voidaan luottaa vasta 24 tunnin stabiilisuuden jälkeen. Siksi käsittelyn ja mittauksen välinen yhteysaika pitenee. Korkeamman tarkkuuden käsittelyssä on oltava korkeamman tason tarkkuudet havaitsemisvälineet. Tällä hetkellä käytetään usein dynaamista kalibraattoria HP5528A tai HP5529A. Sen näytön tarkkuus on 1 nm, joka voi havaita tasaisuuden, kohtisuoran, suoruuden, aikapohjavärähtelyn, kulmasiirtymän mittauksen, diagonaalimittauksen jne.
Dynaamisen kalibraattorin tunnistustarkkuus on erityisen korkea, mutta sen monimutkaisen optisen järjestelmän ja monimutkaisten virheenkorjausmenetelmien ansiosta erityisesti valon voimakkuus ja optisen laitteen paluusäteen taataan olevan yli 80 prosenttia, muuten säde on estetty, mikä on vaikeaa virheenkorjaajalle, virheenkorjausaika on pitkä, eikä virheenkorjausmenetelmää ole helppo hallita. Samalla se vaatii korkean mittausympäristön.







